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市场动态分析 利元亨取得实用新式专利授权:“一种PECVD装载腔偏捏适度系统”

发布日期:2025-01-01 07:32    点击次数:85

市场动态分析 利元亨取得实用新式专利授权:“一种PECVD装载腔偏捏适度系统”

本站音书,把柄天眼查APP数据暴露利元亨(688499)新取得一项实用新式专利授权,专利名为“一种PECVD装载腔偏捏适度系统”,专利请求号为CN202323500779.7,授权日为2024年12月17日。

专利纲目:本请求波及PECVD缔造时间限制,相等波及一种PECVD装载腔偏捏适度系统。包括腔体、树立于所述腔体内的加热模块,所述腔体外侧滑动树立灵验于灵通或阻滞所述腔体的腔室门阀,所述加热模块分别有几许个加热区域,每个所述加热区域单独树立有发烧器,且每个所述加热区域树立有检测组件。当需要大气状况时,通过腔室门阀灵通腔体,外部低温气体进入腔体里面,通过每个加热区域上的检测组件检测对应区域的温度,进而不错把柄每个加热区域上的实质温度来单独适度发烧器的发烧功率,进而幸免现存的加热板大面积加热导致出现温度不均的征象,镌汰温度波动,使得腔体内的温度快速趋于均衡。

本年以来利元亨新取得专利授权0个。筹划公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面参加了2亿元,同比减27.73%。

数据来源:天眼查APP

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